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Astrum 元素分析用グロー放電質量分析計

Astrumは、導体・半導体の固体試料を直接分析し、軽元素やハロゲンを含む75以上の元素を広い濃度範囲で一斉に検出するユニークなグロー放電質量分析計(GDMS)です。元素間の相対感度がマトリクスに依存しないため、標準物質が無くても定量的な分析値が得られます。また、薄膜分析や深さ方向分析、絶縁性試料の分析も可能です。

Sapphire
軽元素やハロゲンを含む75元素以上を主成分(100%)から超微量成分(<ppb)まで同時に検出可能



試料の原子化とイオン化が独立しているため、マトリクス効果が少なく、定量性・再現性に優れる



導体・半導体試料は直接分析が可能、絶縁体試料に対して補助電極を用いる分析手法が開発されている、ピン型、平板、粉体、不定形などの試料形状に対応